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坩埚炉,气氛炉在操作过程中难免不会出现问题,然而合理正确的使用坩埚炉和气氛炉可以减少故障的发生率,使电炉处于更好性能,延长电炉的使用寿命。
1、在坩埚炉和气氛炉使用前,应编制使用维护操作规程,并且严格按照规则操作,有专门人员不定期检查落实情况。
2、坩埚炉,气氛炉头一次使用后,检查炉表温度和炉子温度是否过高、加热体是否存在过热烧断、温度不均或发白等现象。对于三相高温电炉,以及电阻炉容量超过100kW时,每相、每一个加热区都应安装有电流表,发现炉温与仪表指示不正常,及时分析处理。
3、不能超负荷使用没备,在额定功率左右使用电炉。
4、在使用坩埚炉和气氛炉前,先检查加热材料是否适合加热,对于不适合的不要加热,比如容易产生液体,腐蚀性气体的材料不要加热。

坩埚产品使用须知
1、坩埚规格号即铜之容量(#/千克)
2、石墨坩埚谨防潮湿,存放时必须放在干燥处或木架上。
3、搬运时轻拿轻放,严禁摔震。
4、使用前需在干燥设备或炉旁热烘烤,温度逐升到500℃。
5、坩埚应放在炉口平面以下避免炉盖磨损坩埚上口。
6、加料时应根据坩埚溶量,不可加料太多,太紧避免膨胀坩埚。
7、出炉工具和坩夹要符合坩埚外形,夹其中部避免局部受力损坏坩埚。
8、清除坩埚内外壁溶渣和粘焦时应轻敲避免损坏坩埚。
坩埚的使用注意事项:
1、坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。资源管理过程人力资源、生产设施是质量管理体系有效运行的保证,也是产品实现的基础,本过程对上述两种资源进行管理和控制。
2、石英质脆,易破,使用时要注意。
3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。产品实现过程本过程通过产品实现的策划、与顾客有关的过程、设计和开发、采购、生产和服务提供、测量和监视装置的控制,对影响产品实现的各种因素、环节进行有效的控制,以实现产品的质量目标和要求。
4、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。